OPTM 显微分光膜厚仪

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使用显微光谱法在微小区域内通过绝对反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。

可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1/点的高速测量,并且搭载了即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件

 

特点:

· 头部集成了薄膜厚度测量所需功能
· 通过显微光谱法测量高精度绝对反射率(多层膜厚度,光学常数)
· 11秒高速测量
· 显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)
· 区域传感器的安全机制
· 易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析
· 独立测量头对应各种inline客制化需求
· 支持各种自定义

 

 

OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波長范围

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范围

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

测定时间

1 / 1

光斑大小

10μm (最小约5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規格

氘灯+卤素灯  

卤素灯

电源規格

AC100V±10V 750VA(自动样品台规格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分)

重量

55kg自动样品台规格之主体部分

 


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