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概要
使用显微光谱法在微小区域内通过反射率进行测量，可进行膜厚度/光学常数分析。
可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的测量，并且搭载了即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件。
特性
● 头部集成了薄膜厚度测量所需功能详细参数
| 型号 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
|---|---|---|---|
| 波長范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
| 膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
| 测定时间 | 1秒 / 1点 | ||
| 光斑大小 | 10μm (最小约5μm) | ||
| 感光元件 | CCD | InGaAs | |
| 光源規格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
| 电源規格 | AC100V±10V 750VA（自动样品台规格） | ||
| 尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分) | ||
| 重量 | 约 55kg（自动样品台规格之主体部分） | ||
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